Halbleiterindustrie

Komponenten der Anwendung

Vakuumausrüstung und -verpackung

Nickelbasislegierungen werden aufgrund ihrer ausgezeichneten Hochtemperaturfestigkeit und Korrosionsbeständigkeit häufig in der Halbleiterfertigung zur Herstellung von Vakuumgeräten, Verpackungsmaterialien und Thermoelementen verwendet.

Halbleiterindustrie
Halbleiterindustrie

Wärmebehandlung und Schutz

Bei der Herstellung und Wärmebehandlung von Halbleiterbauelementen werden Nickelbasislegierungen zur Herstellung von Heizelementen, Schutzabdeckungen und Tiegeln verwendet, die stabile Hochtemperaturumgebungen und chemische Inertheit bieten.

Elektronenstrahl-Ionenimplantation (EBI)

Nickelbasislegierungen werden für die Herstellung von Probenhaltern und Targetmaterialien in Elektronenstrahl-Ionenimplantationsanlagen verwendet und gewährleisten eine präzise Probenpositionierung und stabile Betriebsbedingungen.

Halbleiterindustrie
Halbleiterindustrie

Lithografie-Ausrüstung

In der Halbleiterlithografie werden Nickelbasislegierungen zur Herstellung von Komponenten und Trägern für Lithografiegeräte verwendet, die der Erosion durch Chemikalien und energiereiche Strahlen widerstehen.

RF-Verpackung

Bei der Verpackung von HF-Halbleiterbauelementen werden üblicherweise Nickelbasislegierungen zur Herstellung von Gehäusen und Leitungen verwendet, die eine hervorragende elektromagnetische Abschirmung und hohe Temperaturbeständigkeit bieten.

Halbleiterindustrie
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Hochleistungs-Halbleiterbauelemente

Nickelbasislegierungen werden in Kühlkörpern und Kontaktmaterialien für Hochleistungs-Halbleiterbauelemente verwendet, die die von den elektronischen Bauteilen erzeugte Wärme effektiv leiten und abführen.

Gemeinsame Noten

Inconel 600

Es hat eine gute Hochtemperaturfestigkeit und Korrosionsbeständigkeit und wird häufig für Heizelemente, Vakuumgeräte und Thermoelemente in Halbleitergeräten verwendet.

Inconel 625

Aufgrund seiner hervorragenden Korrosionsbeständigkeit und Hochtemperaturleistung eignet es sich für Wärmebehandlungsanlagen, Vakuumleitungen und chemische Verarbeitungsanlagen in der Halbleiterfertigung.

Incoloy 825

Es hat eine gute Korrosionsbeständigkeit und Hochtemperaturfestigkeit und wird häufig in Vakuumleitungen, Heizelementen und chemischen Verarbeitungsanlagen in Halbleitergeräten verwendet.

Hastelloy C-276

Bietet eine hervorragende Korrosionsbeständigkeit und chemische Stabilität und wird häufig in Komponenten von Halbleitergeräten verwendet, die mit korrosiven Medien umgehen.

Hastelloy C-22

Hervorragende Leistung bei Halbleiterprozessen, die bei der Herstellung von Anlagen und Reaktoren für die chemische Gasphasenabscheidung (CVD) verwendet werden.

Halbleiter

Die Zuverlässigkeit des Materials und die lange Lebensdauer von Nickelbasislegierungen tragen dazu bei, die Wartungskosten und Ausfallzeiten der Anlagen zu reduzieren und die Produktionseffizienz und Produktqualität zu verbessern.

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